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微型溅射离子泵ST172性能测试
作者:管理员    发布于:2019-08-02 13:52:47    文字:【】【】【
摘要:ST172性能测试: SAES公司推荐的ST172的激活条件是400℃ ,30min激活,实验中依次进行了200、250、300和350℃30min的激活
ST172性能测试:
SAES公司推荐的ST172的激活条件是400℃ ,30min激活,实验中依次进行了200、250、300和350℃30min的激活。从实验结果可以看出,200℃激活时吸气剂已有明显的吸气性能,而且性能随着激活温度的升高不断升高。在350 ℃激活时其性能比200 ℃、250℃、300℃要好很多,接近SAES公司推荐的激活条件达到的性能。在实际应用中,可以选择350℃或稍低的温度,长时间烘烤泵体以达到较好的激活效果。微型复合溅射离子泵主要应用于密闭的小型真空器件中,它可以在不启动微型溅射离子泵的情况下长期维持真空器件内部的真空度,所以吸气剂不仅要有一定的抽速,还需要有足够大的吸气量以吸附器件在长时间存放时所释放的气体。


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