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离子泵中吸气剂掉粉问题的处理如下
作者:管理员    发布于:2019-08-01 13:38:35    文字:【】【】【
摘要:非蒸散型吸气剂一般是通过金属合金球磨制粉后压制烧结而成的,所以在使用过程中吸气剂可能出现掉粉情况。
吸气剂掉粉问题的处理:
非蒸散型吸气剂一般是通过金属合金球磨制粉后压制烧结而成的,所以在使用过程中吸气剂可能出现掉粉情况。微型溅射离子泵内部空间狭小,吸气剂散落颗粒可能会导致导管堵塞或绝缘性能下降,从而影响器件的正常工作。为减小吸气剂掉粉可能带来的影响,除从吸气剂配方和制造工艺上进行改进外,可利用高目数的不锈钢网筛将吸气剂包住,再焊接到阳极筒外侧,这样就可以保证不掉粉或者所掉颗粒极小,不影响器件正常工作。
研制的新型微型复合溅射离子泵,综合了溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的各自优点,具有体积小、结构紧凑、漏磁少等特点。
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