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吸气剂离子泵的工作原理
作者:管理员    发布于:2019-07-30 14:30:44    文字:【】【】【
摘要:由电离抽气作用与蒸发(或升华)活泼金属的吸附作用相结合的真空泵。蒸发离子泵因对活泼金属(通常是钛)的加热蒸发
由电离抽气作用与蒸发(或升华)活泼金属的吸附作用相结合的真空泵。蒸发离子泵因对活泼金属(通常是钛)的加热蒸发形式不同,有各种不同的结构形式。大型蒸发离子泵,在外部控制的输送机构带动下,钛丝筒把钛丝送到加热柱上。加热柱受环形灯丝产生的电子束的轰击而加热到2000℃左右,钛丝便连续不断地蒸发、沉积在冷却的泵体内壁上,形成新鲜的钛膜而吸附抽气。同时,栅极也吸引由灯丝发射的部分电子,使其在电场中高速运动而同气体分子碰撞,电离气体分子。离子在静电场的作用下飞向低电位的泵体内壁,被新沉积的钛膜所“掩埋”,能量较大的离子还可直接打入沉积在泵壁上的钛膜内。这种蒸发离子泵对活性气体有较大的抽速,而对惰性气体的抽速则较小。为了提高对惰性气体的抽气速率,必须提高电离几率,因而电离机构就有多种形式。
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